氦质谱检漏仪是用氦气作示漏气体，以气体剖析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。

氦气作为一种惰性气体，对设备无腐蚀性，对容器环境和质谱环境干扰小，因此常作为泄漏气体使用。

将这种气体喷到接有检漏仪（即调整到仅对氦气反响的作业状态的气体剖析仪）的被检容器上，若容器有漏孔，则剖析仪即有所反响，从而可知漏孔所在及漏气量巨细。 氦质谱检漏技能是真空检漏领域里不行缺少的一种技能，因为检漏效率高，简洁易操作，仪器反响灵敏，精度高，不易受其他气体的搅扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。以西格玛旗下的 SAFC Hitech 子公司为例Epichem (Epichem Limited,特别气体分部) 要求 ESS 设计并制作了一套检测系统, 用于泵压、烘烤、真空检漏、正压走漏检测以及有机金属起泡剂的制备气认证。

起泡器 (曩昔常用于向半导体工业提供有机金属) 是一些体积较小的金属罐，配置有进出阀。因为具有高真空超洁净的特点，因而起泡器在填充前要求适当的洁净。一起，因为起泡器内填充的是 氧气，避免走漏发作也至关重要。 针对此应用，一种特别的双进样端口的质谱系统，它具有一个经校准的正压走漏测验模块，还具有一个主动化的高真空测验模块。首先，将起泡器放置于平台上。

运用氦气填充至一定压力，所 有的接头都运用正压走漏检测设备“嗅辨”一下。检测到的走漏记载与起泡器序列号一一对应，发作超过用户设置的zui大允许成果走漏的起泡器都会被回绝放行。 然后将起泡器设备 10 个一排的设备上，该设备配有无油前级泵和涡轮分子泵。在软件控制下，外部管线抽真空并坚持状态，然后操作者运用外喷雾查看一切接头时， 质谱系统能够监测 氦走漏。 若经过走漏测验，将起泡器抽真空、烘烤。

测试结束后，氦质谱仪检漏仪系统将对鼓泡器和连接管中的气体进行主动分析。为了保证试验结果，所有鼓泡器中的水、氧和溶剂浓度必须小于1ppm。试验结束后，提醒操作人员试验结果是否合格或不合格，并记录所有试验数据，以便追溯。